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国产中高端光刻机制造加快 “卡脖子”技术难题有望突破
2019-8-12 9:53:44 作者:tangyuan  次阅读 分享到:

我国正加速实现中高端光刻机的国产化。近日,北京亦庄企业北京国望光学科技有限公司增资项目在北京产权交易所完成。通过此次增资,国望光学引入中国科学院长春光学精密机械与物理研究所和中国科学院上海光学精密机械研究所作为战略投资者,两家机构以无形资产作价10亿元入股,对应持股比例为33.33%。这意味着北京在推动国产光刻机核心部件生产方面迈出实质性步伐,将加快突破国产中高端光刻机制造“卡脖子”技术难题。

光刻机是集成电路生产制造过程中的关键设备,主流光刻机主要由荷兰ASML公司垄断生产,属于国内集成电路制造业的“卡脖子”技术。在解决相关关键问题后,该技术将有望应用于国内集成电路制造。

相关上市公司:

胜利精密:公司光刻机产业化项目建成后主要用于生产光刻机成套装备,公司具备将业务延伸拓展至光刻机产线整体解决方案的技术实力;

苏大维格:微纳光刻设备已达到国际先进水平,可为光子晶体、半导体功率芯片、MEMS等研发和制备提供前沿性和实用性纳米光刻工具。


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